| Nguồn gốc: | TRUNG QUỐC |
|---|---|
| Hàng hiệu: | BAXIT |
| Chứng nhận: | CE |
| Số mô hình: | BXT-MPCVD |
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 (Đơn hàng tối thiểu) |
| Giá bán: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Thời gian giao hàng: | 5-8 ngày làm việc |
| Điều khoản thanh toán: | L / C, T / T, D / A, D / P |
| Khả năng cung cấp: | 5 |
| Tần số hoạt động: | 2450MHz | Công suất ra: | 0,1 ~ 6 kW có thể điều chỉnh liên tục |
|---|---|---|---|
| Nguồn điện ổn định: | tốt hơn ± 1% (trạng thái đánh giá @) | Giao diện ống dẫn sóng đầu ra: | BJ-26/22 với mặt bích tiêu chuẩn FD-26/22 |
| Nguồn điện đầu vào: | 380VAC / 50Hz, 3 pha 5 dây, 11kW | Dòng nước làm mát: | 18L / phút |
| Hệ số sóng đứng của hệ thống: | VSWR ≤ 1,5 | Rò rỉ vi sóng: | đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia |
| Kích thước và chế độ làm việc: | Φ200 x 300 (H) chế độ TM | ||
| Làm nổi bật: | Máy trồng kim cương MPCVD,Máy trồng kim cương chuyên nghiệp,Máy trồng kim cương CVD |
||
| Máy phát và hệ thống vi sóng | Tần số hoạt động | 2450MHz |
| Công suất ra | 0,1 ~ 6 kW có thể điều chỉnh liên tục | |
| Nguồn điện ổn định | tốt hơn ± 1% (trạng thái đánh giá @) | |
| Giao diện ống dẫn sóng đầu ra | BJ-26/22 với mặt bích tiêu chuẩn FD-26/22 | |
| Nguồn điện đầu vào | 380VAC / 50Hz, 3 pha 5 dây, 11kW | |
| Dòng nước làm mát | 18L / phút | |
| Hệ số sóng đứng của hệ thống | VSWR ≤ 1,5 | |
| Rò rỉ vi sóng | đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia | |
| Buồng xả chân không vi sóng | Kích thước và chế độ làm việc | Φ200 x 300 (H) chế độ TM |
| Khu vực lắng đọng hiệu quả | Φ50mm | |
| Phạm vi kiểm soát áp suất | 0,5KPa ~ 30KPa | |
| Độ chính xác kiểm soát áp suất | ± 15Pa | |
| Thu nhận chân không | Tăng trưởng đơn tinh thể | tốc độ tăng trưởng 10-15μm / H, độ dày tăng trưởng đơn ≥ 1,6mm |
| Chất lượng tinh thể đơn | hầu như không có khuyết tật dưới mắt thường | |
| Hệ thống chân không | Chế độ thổi | điền bằng N2 |
| Độ chân không cuối cùng | tốt hơn 8 × 10-4Pa | |
| Tỷ lệ rò rỉ chân không | ≤10-9pA.m3 / s | |
| Tăng áp lực | Mức tăng áp suất trung bình trong 24 giờ là ít hơn 1Pa / H |
| Hệ thống dòng chảy khối lượng khí | Sự chính xác | 2% -100% FS, áp suất đầu vào0,2-0,3Mpa |
| Loại khí và phạm vi | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Hệ thống giai đoạn mẫu | Đường kính giai đoạn mẫu | Φ60mm, làm mát bằng nước; |
| Phạm vi điều chỉnh của mẫu chiếc bàn |
0 ~ 15mm | |
| Phạm vi điều chỉnh tấm khoang | 0 ~ 60mm | |
| Đo nhiệt độ bề mặt | đo nhiệt độ hồng ngoại phạm vi |
600 ~ 1200 ℃ (Đo nhiệt độ hồng ngoại) |
| Kiểm soát nhiệt độ chính xác | kiểm soát nhiệt độ chính xác ± 5 ℃; | |
| Phạm vi kiểm soát của khu vực nhiệt độ không đổi | chênh lệch nhiệt độ của mỗi điểm của nền tảng molypden≤30 ℃ | |
| Giao diện thiết bị | Nước đầu vào và đầu ra | G1 "dây ngoài |
| Kết nối khí | 1/4 "dây ngoài VCR | |
| Giao diện xả khí thải | Dây ngoài 3/4 " | |
| Đường dây điện | TB4506 | |
| Vật liệu chống điện | ≥5MΩ | |
| độ tin cậy | thời gian làm việc liên tục và ổn định trong điều kiện bình thường không được nhỏ hơn 24H | |
| Tổng cung cấp điện | 380VAC ± 5% / 50Hz, 3 pha5wire, 13kW | |
| Tổng nước làm mát | 34L / phút, nước mềm sạch, nhiệt độ nước đầu vào là 20 ℃ ± 5 ℃; Áp lực nước là 0,2 ~ 0,4MPa | |
| Kích thước | ~ 1,95 (L) x0,8 (W) x1.90 (H) m | |
