Thông tin chi tiết

Tần số hoạt động:	2450MHz	Công suất ra:	0,1 ~ 6 kW có thể điều chỉnh liên tục
Nguồn điện ổn định:	tốt hơn ± 1% (trạng thái đánh giá @)	Giao diện ống dẫn sóng đầu ra:	BJ-26/22 với mặt bích tiêu chuẩn FD-26/22
Nguồn điện đầu vào:	380VAC / 50Hz, 3 pha 5 dây, 11kW	Dòng nước làm mát:	18L / phút
Hệ số sóng đứng của hệ thống:	VSWR ≤ 1,5	Rò rỉ vi sóng:	đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia
Kích thước và chế độ làm việc:	Φ200 x 300 (H) chế độ TM

Mô tả sản phẩm

máy trồng kim cương trong phòng thí nghiệm Thiết bị MPCVD Thiết bị tăng trưởng chuyên nghiệp kim cương Nhà sản xuất máy trồng kim cương CVD 0

Máy phát và hệ thống vi sóng	Tần số hoạt động	2450MHz
	Công suất ra	0,1 ~ 6 kW có thể điều chỉnh liên tục
	Nguồn điện ổn định	tốt hơn ± 1% (trạng thái đánh giá @)
	Giao diện ống dẫn sóng đầu ra	BJ-26/22 với mặt bích tiêu chuẩn FD-26/22
	Nguồn điện đầu vào	380VAC / 50Hz, 3 pha 5 dây, 11kW
	Dòng nước làm mát	18L / phút
	Hệ số sóng đứng của hệ thống	VSWR ≤ 1,5
	Rò rỉ vi sóng	đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia
Buồng xả chân không vi sóng	Kích thước và chế độ làm việc	Φ200 x 300 (H) chế độ TM
	Khu vực lắng đọng hiệu quả	Φ50mm
	Phạm vi kiểm soát áp suất	0,5KPa ~ 30KPa
	Độ chính xác kiểm soát áp suất	± 15Pa
Thu nhận chân không	Tăng trưởng đơn tinh thể	tốc độ tăng trưởng 10-15μm / H, độ dày tăng trưởng đơn ≥ 1,6mm
	Chất lượng tinh thể đơn	hầu như không có khuyết tật dưới mắt thường
Hệ thống chân không	Chế độ thổi	điền bằng N2
	Độ chân không cuối cùng	tốt hơn 8 × 10-4Pa
	Tỷ lệ rò rỉ chân không	≤10-9pA.m3 / s
	Tăng áp lực	Mức tăng áp suất trung bình trong 24 giờ là ít hơn 1Pa / H

Hệ thống dòng chảy khối lượng khí	Sự chính xác	2% -100% FS, áp suất đầu vào0,2-0,3Mpa
	Loại khí và phạm vi	H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM)
Hệ thống giai đoạn mẫu	Đường kính giai đoạn mẫu	Φ60mm, làm mát bằng nước;
	Phạm vi điều chỉnh của mẫu chiếc bàn	0 ~ 15mm
	Phạm vi điều chỉnh tấm khoang	0 ~ 60mm
Đo nhiệt độ bề mặt	đo nhiệt độ hồng ngoại phạm vi	600 ~ 1200 ℃ (Đo nhiệt độ hồng ngoại)
	Kiểm soát nhiệt độ chính xác	kiểm soát nhiệt độ chính xác ± 5 ℃;
	Phạm vi kiểm soát của khu vực nhiệt độ không đổi	chênh lệch nhiệt độ của mỗi điểm của nền tảng molypden≤30 ℃
Giao diện thiết bị	Nước đầu vào và đầu ra	G1 "dây ngoài
	Kết nối khí	1/4 "dây ngoài VCR
	Giao diện xả khí thải	Dây ngoài 3/4 "
	Đường dây điện	TB4506
Vật liệu chống điện	≥5MΩ
độ tin cậy	thời gian làm việc liên tục và ổn định trong điều kiện bình thường không được nhỏ hơn 24H
Tổng cung cấp điện	380VAC ± 5% / 50Hz, 3 pha5wire, 13kW
Tổng nước làm mát	34L / phút, nước mềm sạch, nhiệt độ nước đầu vào là 20 ℃ ± 5 ℃; Áp lực nước là 0,2 ~ 0,4MPa
Kích thước	~ 1,95 (L) x0,8 (W) x1.90 (H) m

máy trồng kim cương trong phòng thí nghiệm Thiết bị MPCVD Thiết bị tăng trưởng chuyên nghiệp kim cương Nhà sản xuất máy trồng kim cương CVD 2

máy trồng kim cương trong phòng thí nghiệm Thiết bị MPCVD Thiết bị tăng trưởng chuyên nghiệp kim cương Nhà sản xuất máy trồng kim cương CVD 5

Từ khóa:

máy trồng kim cương trong phòng thí nghiệm Thiết bị MPCVD Thiết bị tăng trưởng chuyên nghiệp kim cương Nhà sản xuất máy trồng kim cương CVD

thiết bị thử cháy,